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熱反射式激光共聚焦顯微鏡

簡(jiǎn)要描述:CTRM 700激光共聚焦顯微鏡是韓國(guó)Nanoscope Systems 公司研發(fā)的一款熱反射式激光共聚焦顯微鏡,集熱成像與高速3D激光共聚焦顯微鏡于一體,可以在同時(shí)觀察樣品的熱成像與三維形貌。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-05-08
  • 訪  問(wèn)  量:5492

詳細(xì)介紹

CTRM700 是韓國(guó)?????所研發(fā)并由韓國(guó)Nanoscope Systems 進(jìn)行商業(yè)化運(yùn)營(yíng)的熱反射式激光共聚焦顯微鏡

CTRM 700熱反射式激光共聚焦顯微鏡利用的是激光共聚焦掃描的方法測(cè)量樣品表面或內(nèi)部特定表面上溫度變化引起的反射率變化的分布來(lái)獲取樣品的熱分別圖像。

 

Principles & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):

熱反射顯微鏡(Thermal Reflectance Microscope) 是一種基于測(cè)量樣品表面光反射率變化而測(cè)量樣品溫度變化的一種技術(shù)。

共聚焦熱反射顯微技術(shù)是一種激光掃描共聚焦方法,它可以在局部區(qū)域獲得比傳統(tǒng)熱成像技術(shù)(紅外成像技術(shù))更高分辨率的熱成像圖像。

 

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

半導(dǎo)體器件熱特性的測(cè)量與分析:

-柔性顯示面板缺陷檢查

-OLED內(nèi)部缺陷檢查

-高輸出功率裝置發(fā)熱特性的測(cè)量與分析

-傳感器單元的紅外圖像分析

-氧化物薄膜晶體管的熱特性

-3D堆疊半導(dǎo)體熱特性的測(cè)量分析

-OLED 器件的熱特性分析

-氣體傳感器的MEMS裝置的熱特性測(cè)量和分析

-InGaZnO薄膜晶體管的發(fā)熱特性及可靠性分析

 

Specification(規(guī)格)

Model

Microscope  CTRM 700

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x

觀察/  測(cè)量范圍

水平 (H): μm

1400

700

280

140

垂直 (V): μm

1050

525

210

105

工作范圍: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

數(shù)值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95

光學(xué)變焦

x1 to x6

觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)

針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

測(cè)量高度

7 mm

分辨率

橫向分辨率

0.3 μm

軸向分辨率

0.8 μm

熱分辨率

1℃

 

Image size

共聚焦模式

1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

熱成像模式

1024x768

 

幀速率

共聚焦模式

10 Hz to 160 Hz

熱成像模式

0.3 Hz

 

 

激光共焦測(cè)量光源

波長(zhǎng)

638 nm

輸出

~2mW

激光等級(jí)

Class 3b

光學(xué)顯微鏡光源

LED

10W

光學(xué)觀察照相機(jī)

成像元件

1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

記錄分辨率

640x480

數(shù)據(jù)處理單元

PC

電源

電源電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

電流消耗

500 VA max.

 

重量

顯微鏡

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~14 kg)

控制器

~8 kg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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